发明名称 电阻性电极构造,具备其之化合物半导体发光元件及LED灯
摘要 【课题】关于p型磷化硼系半导体层设置低接触电阻的p型电阻性电极,提供高发光强度的化合物半导体发光元件。【解决方法】接触p型磷化硼系半导体层的表面之底面部作为以镧系元素或其合金膜构成p型电阻性电极。
申请公布号 TWI251944 申请公布日期 2006.03.21
申请号 TW093105397 申请日期 2004.03.02
申请人 昭和电工股份有限公司 发明人 宇田川隆
分类号 H01L33/00 主分类号 H01L33/00
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 1.一种电阻性电极构造,设置有接触在包含以呈现P 型传导的硼与磷作为构成元素之导电性磷化硼系 半导体层的表面上的电阻性电极;其特征为: 至少接触在前述p型磷化硼系半导体层的表面上的 电极之底面为,由镧系元素或含有镧系元素之合金 所构成。 2.如申请专利范围第1项所记载之电阻性电极构造, 其中: 接触在前述p型磷化硼系半导体层表面之底面为, 由镧与功函数在4.5eV以下的元素之合金所构成。 3.如申请专利范围第1或第2项所记载之电阻性电极 构造,其中: 接触在前述p型磷化硼系半导体层表面之底面为, 由镧与铝的元素之合金所构成。 4.如申请专利范围第1或第2项所记载之电阻性电极 构造,其中: 接触在前述p型磷化硼系半导体层表面之底面为, 由镧与矽的元素之合金所构成。 5.一种化合物半导体装置,包含有如申请专利范围 第1项或第2项所记载的电阻性电极构造,其特征为: 前述p型磷化硼系半导体层为,以不刻意添加不纯 物之未掺杂且在室温的能隙宽为2.8eV以上5.4eV以下 的p型单体磷化硼。 6.一种化合物半导体发光元件,其特征为: 由申请专利范围第5项所记载之化合物半导体装置 所制成 7.一种化合物半导体发光元件,具备由绝缘性或导 电性结晶制成之基板,和由该结晶基板上形成之化 合物半导体层制成之发光层,和设置于该发光层上 含有作为呈现p型传导之硼与磷之构成元素之导电 性磷化硼系半导体层,和使其接触该p型磷化硼系 半导体层之电阻性接触性的p型电阻性电极;其特 征为: 至少接触在前述磷化硼系半导体层的表面之前述p 型电阻性电极之底面为,由镧系元素又或含有镧系 元素合金所构成。 8.如申请专利范围第7项所记载之化合物半导体发 光元件,其中: 前述p型磷化硼系半导体层表面之底面为,由镧与 功函数在4.5eV以下的元素之合金所构成。 9.如申请专利范围第7或第8项所记载之化合物半导 体发光元件,其中: 接触在前述p型磷化硼系半导体层表面之底面为, 由镧与铝的元素之合金所构成。 10.如申请专利范围第7或第8项所记载之化合物半 导体发光元件,其中: 接触前述p型磷化硼系半导体层表面之底面为,由 镧与矽的元素之合金所构成。 11.如申请专利范围第7或第8项所记载之化合物半 导体发光元件其中: 前述化合物半导体层由III-V族的化合物半导体制 成。 12.如申请专利范围第7或第8项所记载之化合物半 导体发光元件,其中: 前述化合物半导体层由氮化铟镓(组成式GaN1-Y PYGaXIn1-XN:0≦X≦1)或氮磷化镓(组成式GaN1-Y PY:0≦Y ≦1)的化合物半导体制成。 13.如申请专利范围第7或第8项所记载之化合物半 导体发光元件,其中: 拥有从镧系元素或含有镧系元素合金所构成之前 述p型电阻性电极前述底部部分,作为平面形状,连 线用基台电极的形状以及邻接形成之网状部分。 14.如申请专利范围第7或第8项所记载之化合物半 导体发光元件,其中: 前述p型磷化硼系半导体层为,以不刻意添加不纯 物之未掺杂且在室温能隙宽 在2.8eV以上5.4eV以下的p型单体磷化硼。 15.一种LED灯,其特征为: 使用申请专利范围第7~14项其中任1项所记载之化 合物半导体元件。 图式简单说明: 【图1】根据本发明与以往的材料的电流电压特 性之表示图。 【图2】表示第1实施例所记载之LED的断面构造之 模式图。 【图3】表示第2实施例所记载之LED的断面构造之 模式图。 【图4】表示第2实施例所记载之LED的平面构造之 模式图。
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