| 主权项 |
1.一种矽基液晶元件(LCoS),至少包括: 一矽基板; 一彩色滤光层位于该矽基板上; 一液晶层位于该彩色滤光层上;以及 一隔离层位于该彩色滤光层与该液晶层之间。 2.如申请专利范围第1项所述之矽基液晶元件,其中 该隔离层之材质为介电材料。 3.如申请专利范围第1项所述之矽基液晶元件,其中 该隔离层之材质为无机材料。 4.如申请专利范围第1项所述之矽基液晶元件,其中 该隔离层系一透明层。 5.如申请专利范围第1项所述之矽基液晶元件,其中 该彩色滤光层之材质为光阻材料。 6.如申请专利范围第1项所述之矽基液晶元件,更至 少包括一配向层位于该隔离层与液晶层之间。 7.如申请专利范围第6项所述之矽基液晶元件,该配 向层之材质为聚亚醯胺(PI)。 8.如申请专利范围第7项所述之矽基液晶元件,更至 少包括一镜层位于该矽基板与该彩色滤光层之间 。 9.如申请专利范围第8项所述之矽基液晶元件,其中 该镜层系一高反射金属层。 10.一种矽基液晶元件,至少包括: 一矽基板; 一镜层位于该矽基板上; 一彩色滤光层位于该镜层上; 一隔离层位于该彩色滤光层上; 一配向层位于该隔离层上;以及 一液晶层位于该配向层上。 11.如申请专利范围第10项所述之矽基液晶元件,其 中该隔离层之材质为介电材料。 12.如申请专利范围第10项所述之矽基液晶元件,其 中该隔离层之材质为无机材料。 13.如申请专利范围第10项所述之矽基液晶元件,其 中该隔离层系一透明层。 14.如申请专利范围第10项所述之矽基液晶元件,其 中该彩色滤光层之材质为光阻材料。 15.如申请专利范围第10项所述之矽基液晶元件,其 中该镜层系一高反射金属层。 16.如申请专利范围第10项所述之矽基液晶元件,其 中该配向层之材质为聚亚醯胺。 17.一种矽基液晶元件之制造方法,至少包括: 形成一镜层于一矽基板上; 形成一彩色滤光层于该镜层上; 形成一隔离层于该彩色滤光层上; 形成一配向层于该隔离层上;以及 形成一液晶层于该配向层上。 18.如申请专利范围第17项所述之矽基液晶元件之 制造方法,其中该隔离层之材质为介电材料。 19.如申请专利范围第17项所述之矽基液晶元件之 制造方法,其中该隔离层之材质为无机材料。 20.如申请专利范围第17项所述之矽基液晶元件之 制造方法,其中该隔离层系一透明层。 21.如申请专利范围第17项所述之矽基液晶元件之 制造方法,其中该彩色滤光层之材质为光阻材料。 22.如申请专利范围第17项所述之矽基液晶元件之 制造方法,其中该镜层系一高反射金属层。 23.如申请专利范围第17项所述之矽基液晶元件之 制造方法,其中该配向层之材质为聚亚醯胺。 图式简单说明: 第1图系绘示一般矽基液晶元件之部分结构剖面图 。 第2图系绘示依照本发明一较佳实施例的一种矽基 液晶元件之部分结构剖面图。 |
