| 主权项 |
1.一种加装震动装置之研磨液传输系统,包含有: 一传输管线,用以接收并输送一研磨液进料; 至少一进料口,设置于该传输管线上,用以注入该 研磨液进料; 至少一进水口,设置于该传输管线上,用以提供该 研磨液进料适当之流动性; 至少一震动装置,安装于该传输管线上,用以提供 该传输管线适当程度震动效果;以及 复数个缓冲器(cushion),位于该传输管线底部,用以 支撑该传输管线; 其中在该研磨液传输过程中,该震动装置系提供该 传输管线适当程度之震动效果,以使该研磨液进料 不致附着于该传输管线之内壁,同时该等缓冲器系 用以使震动能量不至衰减,并避免该传输管线之震 动影响其他设备之运作。 2.如申请专利范围第1项之研磨液传输系统,其中该 研磨液系为一化学机械研磨(CMP)制程使用之研磨 液。 3.如申请专利范围第1项之研磨液传输系统,其中于 该研磨液系为一高黏度之流体。 4.如申请专利范围第1项之研磨液传输系统,其中该 研磨液包含有二氧化矽(SiO2)。 5.如申请专利范围第1项之研磨液传输系统,其中该 震动装置系为一气动式震动器。 6.如申请专利范围第1项之研磨液传输系统,其中该 震动装置系贴附于该传输管线上。 7.如申请专利范围第1项之研磨液传输系统,其中该 传输管线系利用该等缓冲器支撑并悬吊于地面之 上。 8.如申请专利范围第1项之研磨液传输系统,其中该 传输管线上可装设一观测窗口,用以观测该研磨进 料于该传输管线内部附着情形。 9.一种加装震动装置之高黏度流体传输系统,包含 有: 一传输管线,用以接收并输送一高黏度进料; 至少一进料口,设置于该传输管线上,用以注入该 高黏度进料; 至少一进水口,设置于该传输管线上,用以提供该 高黏度进料适当之流动性; 至少一震动装置,安装于该传输管线上,用以提供 该传输管线适当程度震动效果;以及 复数个缓冲器,位于该传输管线底部,用以支撑该 传输管线; 其中在该高黏度流体传输过程中,该震动装置系提 供该传输管线适当程度之震动效果,以使该高黏度 进料不致附着于该传输管线之内壁,同时该等缓冲 器系用以使震动能量不至衰减,并避免该传输管线 之震动影响其他设备之运作。 10.如申请专利范围第9项之高黏度流体传输系统, 其中该震动装置系为一气动式震动器。 11.如申请专利范围第9项之高黏度流体传输系统, 其中该震动装置系贴附于该传输管线上。 12.如申请专利范围第9项之高黏度流体传输系统, 其中该传输管线系利用该等缓冲器支撑并悬吊于 地面之上。 13.如申请专利范围第9项之高黏度流体传输系统, 其中该传输管线上可装设一观测窗口,用以观测该 高黏度进料于该传输管线内部附着情形。 图式简单说明: 图一为习知一流体传输系统之示意图。 图二为本发明一流体传输系统之示意图。 |
