发明名称 GROWTH PREVENTION METHOD FOR NATURAL OXIDE ON SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 KR20060025041(A) 申请公布日期 2006.03.20
申请号 KR20040073943 申请日期 2004.09.15
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 LEE, LAE HEE
分类号 H01L21/02;H01L21/31 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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