多针顶出装置

摘要

一种多针顶出装置包含两组伺服驱动装置，一组用于顶针座驱动装置，另一组用于顶推顶针之驱动装置。该顶针座驱动装置驱动该顶针座之升降，除便于搭配之晶圆工作平台运动外，亦确保晶粒取出时，胶膜与本装置接合处能紧密贴着；该驱动装置驱动顶针升降，造成该晶粒与该胶膜的分离。此外，该多针顶出装置可个别选取所需顶针进行工作，单一顶针搭配其驱动装置，可选择此顶针是否进行顶出工作。藉由上述功能，该多针顶出装置可选择特定的顶针，配合该顶针座的升降俾令该胶膜紧密贴着，再由该驱动装置驱动顶针，以达到多针顶出的功能。