溶胶-凝胶材料衍生之可调变光衰减器及其制法

摘要

一种可调变光衰减器及其制造方法，系先形成一底披敷层于一基材上，其次利用微影技术形成一具有波导核心区域与一波导衰减区域之波导结构于底披敷层上。接着形成一上披敷层于底披敷层及波导结构之上，然后再设置一电极于上披敷层上，且电极的位置系对应于波导衰减区域的上方。此外，波导结构系由一溶胶–凝胶材料所构成。其中，溶胶–凝胶材料是藉由混合及加热一金属烷氧化物溶液与一有机改质矽氧烷溶液而得。