垂直型热处理装置及其运用方法

摘要

本发明之垂直型热处理装置包含热处理炉，其系在下方具有炉口者。多层地于上下方向搭载被处理体之晶舟，经由上述炉口，容置于上述热处理炉之内部。支持上述晶舟之盖体，可堵塞上述炉口。于上述炉口，连接有移载室。于上述移载室内，设有昇降机构，其系昇降上述盖体、进行上述晶舟之向上述热处理炉内之搬入及搬出者。于上述移载室之壁部，设有连接口，其系可连接容置被处理体之搬运容器的开口部者。于上述移载室内，设有：第1收纳部，其系暂时地收纳下一个热处理用之未处理的被处理体者；及第2收纳部，其系暂时地收纳自上述热处理炉搬出之已处理的被处理体者。移载机构系于上述搬运容器、上述第1收纳部、上述第2收纳部及上述晶舟之间，进行被处理体之移载者。