| 摘要 |
本发明揭示一种微影装置。该装置包括一用以提供一辐射光束之照明系统，及一用于支撑一图案化元件之支撑结构。该图案化元件用于在该光束之横截面上赋予其一图案。该装置亦包括一气体冲洗元件，其用于横越该辐射光束及／或沿着一光学组件之一表面而冲洗一大体为层状之气流。该气体冲洗元件包括单一气体出口，该单一气体出口在其下游端处具有一内缘。该内缘界定一总气体出口区域。该气体出口具有一层压板，该层压板具有一有效区域，在使用过程中，该大体为层状之气流流出该有效区域。该层压板有效区域包括具有层压板开口之材料且至少与该总气体出口区域一样大。 |
