用以密封处理室之方法及设备

摘要

本发明在某些态样，提供了一种负载锁定室，其包括具有至少一个封闭面壁的主体，该封闭面壁包括一封闭面。该封闭面壁具有与该封闭面相邻、适于放入和取出一基板的一开口。该主体更包括多个侧壁。该负载锁定室还包括与该主体相连接的一顶部。该顶部包括一个或多个可将该顶部划分为一第一部分和一第二部分的开口。该负载锁定室更包括一个或多个适于覆盖该顶部之每个开口的密封构件。每个顶部密封构件可吸收掉该顶部之第一部分相对于该顶部之第二部分的移动。本发明还提供了许多其他态样。