微影装置及元件制造方法

摘要

本发明揭示一种浸泡式微影装置，其包括：一液体供应系统部件，其系配置成在该微影装置之一投影系统与基板之间的一空间内包含一液体；以及，一液体供应系统部件补偿器，其系配置成补偿该液体供应系统部件与基板台之间的一相互作用。