光波导安装元件、基板、半导体装置、制造光波导安装元件之方法、以及基板之制造方法

摘要

本发明揭露一种一光波导安装元件，用以安装至一基底，该光波导安装元件包括：一光波导与一光波导安装基底材料，该光波导用以传输光讯号，该光波导安装基底材料具有一穿透孔洞，其中该光波导安装在该穿透孔洞中，该光波导安装基底系由矽所构成。