探测装置及基板检查装置

摘要

〔课题〕抑制在基板检查点上产生探测所引起之压痕等损伤。〔解决手段〕探测装置10B包括：具有弹性且大致呈L形的线状导电材料所构成的探针11B；探针11B贯穿其内部而相对于基板3的检查点301大致垂直支撑该探针11B的支撑构件12B；通过促动器相对于基板3之检查点301沿垂直方向(Z轴方向)予以驱动，同时保持探针11B及支撑构件12B的探针架13B。