发明名称 感光介电层
摘要 本发明提供一层可直接被图案化之感光材料层,此感光材料然后可被分解而留下孔隙或空气隙于此层中,这可以提供一具有降低之电阻电容延迟特性的低介电常数层。
申请公布号 TW200610171 申请公布日期 2006.03.16
申请号 TW094110768 申请日期 2005.04.04
申请人 英特尔股份有限公司 发明人 麦克 古纳;凯文 欧布莱恩;葛兰特 克拉斯特;罗伯特 麦格利
分类号 H01L31/101 主分类号 H01L31/101
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 美国