| 摘要 |
一种板状材料表面之加工方法，系用以对具有2、3维变形之板状材料，厚度均匀地施加切削加工、研削加工、放电加工等机械加工，其特征在于：将板状材料载置于固定板上，设该板状材料之平面方向之座标轴为X、Y，设高度方向之座标轴为Z，虚拟包含测定之Z方向原点之面，并且测定任意平面位置之从该原点起之高度Z1–n，以使藉此所获得之高度资料之最大值Zmax与最小值Zmin之差异的绝对值成为最少之方式，倾斜板状材料来切削。溅镀靶(sputtering target)等之陶瓷制烧结板或是压延、锻造而成之金属板，虽在制程中受热或加工之应力而导致大部分会产生2、3维变形，但是如上述，能从具有2、3维变形之板状材料，获得加工量最少、平坦且厚度均匀之板状材料。 |
