树脂膜之形成方法及装置

摘要

将供给于光碟等基板间内围侧之接着剂等之液状物质、或是供给于基板上内围侧之液状物质藉由高速旋转来延展之制程与低速旋转之制程系交互进行复数次，在低速旋转时使得以连续方式或间歇方式照射之光线自内围侧依序往外围侧移动，而自内围侧起使得液状物质半硬化或硬化。藉此，液状物质所构成之树脂膜的厚度可从内围侧起往外围侧做阶段性的确认。