| 摘要 |
本发明提出一种具阵列式奈米孔洞之氧化铝薄膜的制造方法，首先提供一商用铝基材，将商用铝基材经过退火处理，再经过电解抛光处理，以使铝基材表面呈现镜面效果，并接着进行阳极处理，使铝基材表面上形成一含有奈米级之数孔洞的氧化铝薄膜，且孔洞呈现阵列式排列，再来进行热处理，使铝基材产生氧化反应，而使部分较小孔洞被产生氧化反应之氧化物因自我扩散效应填满，使得孔洞均一化，最后再进行扩孔处理，以使孔洞扩张。本发明可简化制程、便于控制制造过程之操作，并可在同时降低成本下，在氧化铝薄膜上得出均一孔径且具阵列式排列之奈米孔洞分布。 |
