平板电镀装置及其阳极

摘要

本发明系揭示一种电镀装置与方法，适用于高电阻电极表面电镀均匀金属镀层。本装置含阴阳极与电镀槽各一，阴极欲镀面朝下，电接点在阴极边缘，阴阳极间距随阴极距电接点位置而不同，且随电镀时膜厚变化调整，可得到厚度均匀之金属镀层。