首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
半导体记忆元件内形成隔离层之方法
摘要
本发明系有关于一种形成半导体记忆体装置之隔离膜的方法。依据本发明,在形成一通道氧化膜前所实施之一预处理清洗制程中,在60℃–70℃温度范围内实施一SC–1清洗制程。因此,即使在该SC–1清洗制程及一DHF清洗制程中,亦可使在一单元区域及一周边区域中之氧化膜凹陷。因而可减少DHF清洗时间。因此,本发明具有下列优点:本发明可藉由DHP最小化一矽基板之损失,以及因而回控制一凹坑之深度。
申请公布号
TW200610095
申请公布日期
2006.03.16
申请号
TW093138938
申请日期
2004.12.15
申请人
海力士半导体股份有限公司
发明人
李承撤;朴相昱;宋弼根
分类号
H01L21/76
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
何金涂;林荣琳
主权项
地址
韩国
您可能感兴趣的专利
Aufzeichnungsmedium zur Speicherung von stillstehenden Bildern
SYSTEM UND VERFAHREN ZUR OPTIMIERUNG DER LEISTUNGSKONTROLLE VON KOMPLEXEN INFORMATIONSTECHNOLOGIESYSTEMEN
ITERATIVE RESEQUENZIERUNG
Apparatus and methods for treating ballast water by using electrolysis of natural seawater
Apparatus and method for blocking audio/visual programming and for muting audio
Porous particulate material for fluid treatment, cementitious composition and method of manufacture thereof
Pumpe
Hydraulisches System
Linearmotor
Abdichtanordnung für den Längenausgleich einer Kreuzgelenkwelle
MTHEOD FOR PROTECTING ENGINE STOP WHEN SOLENOID VALVE DAMAGED
INTAKE AIR CONTROL SYSTEM USING VORTEX TUBE
Method for thickening hair, separator device for receiving hair, assembly for thickening hair and applicator for the assembly in the method for thickening hair
APPARATUS AND METHOD FOR PRIORITIZED APPORTIONMENT OF TRANSMISSION POWER IN A MULTI-CARRIER TERMINAL
Method for dubbing audio on rewritable medium
Polycrystalline diamond abrasive elements
Scratch-resistant strippable finish
Oligonukleotide für den Nachweis von Salmonella
MANIPULATION DER PROTOPORPHYRINOGEN OXIDASE ENZYME-AKTIVITÄT IN EUKARYOTISCHE ORGANISMEN
SINGLE PIECE POST CLADDING ELEMENT, METHOD OF CLADDING A POST AND METHOD OF FORMING A CLADDING ELEMENT