氮化铝烧结体

摘要

本发明系藉由极力减少氮化铝烧结体中的气孔，以提供一种均热性优之承座体。本发明之氮化铝烧结体系将含有之铋与氯的量控制于一定值以下。亦即，以氮化铝作为主成份之氮化铝烧结体，其特征在于：氮化铝烧结体中之铋的含量为30ppm以下，且氯之含量为100ppm以下。前述氮化铝烧结体中宜形成电阻发热体，且宜使用来作为半导体加热用零件。