薄膜体音响共振器、及薄膜体音响共振器之制造方法

摘要

本发明之目的在于降低起因于横振动模态之寄生振荡。本发明系在包含具第1电极12、于此第1电极12之上面邻接形成之压电体层13、与于此压电体层13之上面邻接形成之第2电极14之层积体，且使此第1及第2电极12、14具有与空气接触之边界面之薄膜体音响共振器中，使此压电体层13之端面全部存在于此第1电极12及第2电极14之内侧。