| 摘要 |
本发明提供一种可藉由使用工件载盘而对于极薄的工件进行两面同时研磨的奥斯卡型两面研磨机。本发明之奥斯卡型两面研磨机具备有：将保持在工件载盘1的工件(WK)置于中间而相对向配置，而且直径比工件(WK)大的一对工作平台(U1、D1)；保持前述工件载盘(1)而使其旋转的工件载盘驱动手段(齿轮G1、G2)；保持前述工件载盘驱动手段(齿轮G1、G2)，然后朝前述工作平台(U1、D1)的半径方向摆动的工件载盘支持器(上工件载盘支持器2U、下工件载盘支持器2D)；驱动前述一对工作平台(U1、D1)使其旋转的工作平台驱动手段(M1、M2)；以及使前述工件载盘支持器(2U、2D)摆动的摆动手段(电动机M3、曲柄轴28)。 |
