研磨垫清理装置、化学机械研磨装置及监控研磨垫清理装置操作的方法

摘要

本发明提供一种研磨垫清理装置，用于化学机械研磨装置，包括一横梁；一研磨垫清理头，包括一研磨碟以清理一研磨垫，该研磨垫清理头固定于该横梁的一端；一驱动单元，连接该研磨垫清理头，以驱动一向下应力于该研磨垫清理头上；以及至少一感测器，设置于该横梁上，以感测横梁的变形。