化学机械研磨扣持环

摘要

本发明系关于在化学机械研磨装置中的晶圆研磨时，防止晶圆滑出之扣持环。根据本发明所的扣持环包括复数扣持组件，于研磨时透过支撑晶圆的侧边表面来防止晶圆滑出，及一实质为环状的基座环，为该复数扣持组件连接至此。