摘要 |
本发明揭示一种制造一薄膜电晶体阵列面板之方法,其包括:于一基板上形成一闸极线;于该闸极线上形成一闸极绝缘层;于该闸极绝缘层上形成一资料线及一汲极;于该资料线、该汲极及该闸极绝缘层之暴露部分上沈积一有机半导体层;于该有机半导体层上,沈积一保护层;于该保护层上形成一光阻层,该光阻层具有正光敏性;使用该光阻层作为一蚀刻遮罩,蚀刻该保护层及该有机半导体层;于该保护层、资料线、汲极上,形成一钝化层,该钝化层具有一暴露出该汲极之一部分之接触孔;及于该钝化层上形成一像素电极,该像素电极经由该接触孔电连接至该汲极。 |