| 摘要 |
本发明之目的在于提供一种大型基板用卡匣，其可消除在将大型基板收容到基板用卡匣时之大型基板之挠曲问题，且可提高基板卡匣中之基板之收容效率。本发明之解决手段系于支持框架160～163构成用以支持同一玻璃基板之第1基板支持手段，并以使各个之上面成为相同高度位置之方式安装在后侧框架145～148。同样地，于支持框架170～173构成用以支持同一玻璃基板之第2基板支持手段，并以使各个之上面成为相同高度位置之方式安装在后侧框架145～148，于支持框架180～183构成用以支持同一玻璃基板之第3基板支持手段，并以使各个之上面成为相同高度位置之方式安装在后侧框架145～148，于支持框架190～193构成用以支持同一玻璃基板之第4基板支持手段，并以使各个之上面成为相同高度位置之方式安装在后侧框架145～148。 |
