| 摘要 |
本发明提供一种效率良好之获得杂质极少的高品质金属氮化物，尤其氮化镓之方法。一种金属氮化物之制造方法，其特征为使用非氧化物材质之容器。以非氧化物之材质的容器与金属原料或生成之金属氮化物接触，可避免容器与金属原料或生成之金属氮化物之反应或黏合；又，防止来自容器之材质的氧气之混入，可获得高结晶性之高品质的金属氮化物。确保一定以上之氮源气体的供给量与流速，能以极高之转化率使金属原料转化成氮化物，未反应之余留金属原料极少，能以高收率获得金属与氮为理论定比之金属氮化物。所得金属氮化物系氧气混入量极少、金属与氮为理论定比之故，极适合使用为整体结晶成长用之原料。 |
