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发明名称
电镀头及其操作方法
摘要
本发明提供一种电镀头,包括一腔室,具有一流体入口与一流体出口。腔室包含从流体入口流到流体出口之一电镀溶液流。电镀头亦包括一阳极,设置在腔室之内。该阳极电连接于一电源。电镀头更包括一多孔性电阻材料,设置于流体出口处,俾能迫使该电镀溶液流穿越多孔性电阻材料。
申请公布号
TW200609386
申请公布日期
2006.03.16
申请号
TW094121621
申请日期
2005.06.28
申请人
兰姆研究公司
发明人
叶斯帝 多迪;鲍伯 马拉逊;约翰 柏依;佛瑞德C 瑞德克
分类号
C25D17/00;H01L21/208
主分类号
C25D17/00
代理机构
代理人
许峻荣
主权项
地址
美国
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