发明名称 电镀头及其操作方法
摘要 本发明提供一种电镀头,包括一腔室,具有一流体入口与一流体出口。腔室包含从流体入口流到流体出口之一电镀溶液流。电镀头亦包括一阳极,设置在腔室之内。该阳极电连接于一电源。电镀头更包括一多孔性电阻材料,设置于流体出口处,俾能迫使该电镀溶液流穿越多孔性电阻材料。
申请公布号 TW200609386 申请公布日期 2006.03.16
申请号 TW094121621 申请日期 2005.06.28
申请人 兰姆研究公司 发明人 叶斯帝 多迪;鲍伯 马拉逊;约翰 柏依;佛瑞德C 瑞德克
分类号 C25D17/00;H01L21/208 主分类号 C25D17/00
代理机构 代理人 许峻荣
主权项
地址 美国