发明名称 结晶化膜的形成方法及其装置
摘要 本发明的课题是雷射光源因为会射出具有扩散角的光束,所以会对于透镜阵列的1个透镜部分,射入已穿透光路差产生构件的复数个高低差部分之雷射光,而当成像在被照明物体上时,无法免于受到干涉。其解决手段:对于将作为具有扩散角θ的光束之雷射光1射出之雷射光源A,从一侧面来看具备有:将雷射光1分割缩小成复数个而形成为分割光线9后,使各分割光线9成为各别的缩小光束而得到缩小分割光线10之分割缩小手段(2、3);及使分割面侧减少反射来让各缩小分割光线10各别穿透,并具备以调节相干性的方式使相互间产生光路差之阻光部7a之光路差产生构件7;及使已穿透光路差产生构件7之缩小分割光线10聚光之聚光透镜5;藉由穿透聚光透镜5而重叠之雷射光来照明被照射面6。
申请公布号 TW200610240 申请公布日期 2006.03.16
申请号 TW094126366 申请日期 2005.08.03
申请人 制钢所股份有限公司 发明人 小林直之;草间秀晃;井波俊夫
分类号 H01S3/10;G02B27/00;C30B35/00 主分类号 H01S3/10
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本