发明名称 Infrarotsensorvorrichtung und Verfahren zu dessen Herstellung
摘要 Eine Infrarotsensorvorrichtung umfasst ein Infrarotsensorelement (30), in dem eine Membran (33) auf einer Seite einer ersten Oberfläche (31a) eines Substrats (31) durch Ausbilden eines konkaven Abschnitts (38) auf einer Seite einer zweiten Oberfläche (31b) des Substrats (31) ausgebildet ist, wobei Erfassungselektroden (34, 35) auf der Seite der ersten Oberfläche (31a) des Substrats (31) angeordnet sind und wobei eine Infrarotstrahlen-Absorptionsschicht (36) zur Absorption der Energie einer Infrarotstrahlung durch Empfangen der Infrarotstrahlung auf der Membran (33), auf der Seite der zweiten Oberfläche (31b) des Substrats (31) angeordnet ist. Das Substrat (31) ist über Höcker (40) in einem Zustand, in dem die Seite der ersten Oberfläche (31a) des Substrats (31) einem Schaltungssubstrat (20) gegenüberliegt, elektrisch mit dem Schaltungssubstrat (20) verbunden.
申请公布号 DE102005035148(A1) 申请公布日期 2006.03.16
申请号 DE200510035148 申请日期 2005.07.27
申请人 DENSO CORP., KARIYA 发明人 WATANABE, KAZUAKI
分类号 G01J5/16 主分类号 G01J5/16
代理机构 代理人
主权项
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