摘要 |
Eine Infrarotsensorvorrichtung umfasst ein Infrarotsensorelement (30), in dem eine Membran (33) auf einer Seite einer ersten Oberfläche (31a) eines Substrats (31) durch Ausbilden eines konkaven Abschnitts (38) auf einer Seite einer zweiten Oberfläche (31b) des Substrats (31) ausgebildet ist, wobei Erfassungselektroden (34, 35) auf der Seite der ersten Oberfläche (31a) des Substrats (31) angeordnet sind und wobei eine Infrarotstrahlen-Absorptionsschicht (36) zur Absorption der Energie einer Infrarotstrahlung durch Empfangen der Infrarotstrahlung auf der Membran (33), auf der Seite der zweiten Oberfläche (31b) des Substrats (31) angeordnet ist. Das Substrat (31) ist über Höcker (40) in einem Zustand, in dem die Seite der ersten Oberfläche (31a) des Substrats (31) einem Schaltungssubstrat (20) gegenüberliegt, elektrisch mit dem Schaltungssubstrat (20) verbunden.
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