| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR ENTFERNUNG VON HOHLRÄUMEN IN WOLFRAMSTIFTEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60203319(T2) |
申请公布日期 |
2006.03.16 |
| 申请号 |
DE20026003319T |
申请日期 |
2002.11.08 |
| 申请人 |
ADVANCED MICRO DEVICES, INC. |
发明人 |
NGO, VAN;PATON, ERIC |
| 分类号 |
C25D5/50;H01L21/20;H01L21/768;H01L21/8247;H01L23/522;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 |
主分类号 |
C25D5/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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