MICROMECHANICAL COMPONENT WITH A CAVITY AND METHOD FOR PRODUCTION OF SUCH A COMPONENT

摘要

Die Erfindung geht aus von einem mikromechanischen Bauelement mit einem Funktionsteil (10) und einer Kappe (12, 24), wobei das Funktionsteil (10) und die Kappe (12, 24) einen Hohlraum (18) begrenzen. Der Kern der Erfindung besteht darin, dass wenigstens an Teilen der Kappe (12, 24) eine Versiegelungsschicht (16) vorhanden ist, welche den Hohlraum (18) gegenüber der Kappe (12, 24) abdichtet. Die Erfindung richtet sich weiterhin auf ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements mit einem Funktionsteil (10) und einer Kappe (12, 24). Das Funktionsteil (10) und die Kappe (12, 24) begrenzen dabei einen Hohlraum (18). Der Kern der Erfindung besteht in den vier folgenden Prozessschritten: Zuerst wird eine Kappe (12, 24), die wenigstens teilweise aus Glas besteht, bereitgestellt. Anschließend werden wenigstens Teile der den künftigen Hohlraum (18) begrenzenden Oberfläche der Kappe (12, 24) mit einer Versiegelungsschicht (16) versehen. Weiterhin wird ein Funktionsteil (10) bereitgestellt, welches wenigstens teilweise aus Silizium besteht. Schließlich werden Funktionsteil (10) und Kappe (12, 24) miteinander verbunden.