摘要 |
Ein Rastermikroskop mit einer Strahlablenkeinrichtung, die einen Beleuchtungslichtstrahl über bzw. durch eine Probe führt, und mit einem Detektor zum Empfangen von von der Probe ausgehendem Detektionslicht, weist einen Auskoppelport und eine Umlenkvorrichtung auf, die mit der Strahlablenkeinrichtung synchronisiert ist und die das Detektionslicht in Abhängigkeit von der Ablenk-Stellung der Strahlablenkeinrichtung entweder zu dem Detektor oder zu dem Auskoppelport lenkt.
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