发明名称 Rastermikroskop
摘要 Ein Rastermikroskop mit einer Strahlablenkeinrichtung, die einen Beleuchtungslichtstrahl über bzw. durch eine Probe führt, und mit einem Detektor zum Empfangen von von der Probe ausgehendem Detektionslicht, weist einen Auskoppelport und eine Umlenkvorrichtung auf, die mit der Strahlablenkeinrichtung synchronisiert ist und die das Detektionslicht in Abhängigkeit von der Ablenk-Stellung der Strahlablenkeinrichtung entweder zu dem Detektor oder zu dem Auskoppelport lenkt.
申请公布号 DE102004035340(A1) 申请公布日期 2006.03.16
申请号 DE200410035340 申请日期 2004.07.21
申请人 LEICA MICROSYSTEMS CMS GMBH 发明人 KNEBEL, WERNER;WIDZGOWSKI, BERND
分类号 G02B21/00 主分类号 G02B21/00
代理机构 代理人
主权项
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