发明名称 Method for forming poly silicon layer of poly silicon thin film transistor
摘要
申请公布号 KR100535350(B1) 申请公布日期 2006.03.16
申请号 KR19980024342 申请日期 1998.06.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/24 主分类号 H01L21/24
代理机构 代理人
主权项
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