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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6230348(A) 申请公布日期 1987.02.09
申请号 JP19850167605 申请日期 1985.07.31
申请人 HITACHI DENSHI LTD 发明人 MISAWA HIROSHI
分类号 H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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