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Die Erfindung schafft ein Verfahren zum Testen einer zu testenden elektronischen Schaltungseinheit (101), wobei die zu testende Schaltungseinheit (101) mittels einer vorgegebenen Prozesssequenz (202) hergestellt und an ein Testsystem (100) angeschlossen wird, Ferner wird die angeschlossene, zu testende Schaltungseinheit (101) mit einem Solldatenstrom (102) unter vorgegebenen Testbedingungen beaufschlagt, woraufhin ein Istdatenstrom (103) ausgegeben wird. Ein Vergleich des Solldatenstroms (102) mit dem Istdatenstrom (103) liefert einen Ergebnisdatenstrom (105). Mindestens eine zweite zu testende Schaltungseinheit (101') wird mittels mindestens einer zweiten vorgegebenen Prozesssequenz (203) hergestellt, wobei der zweiten zu testenden Schaltungseinheit vorgegebene Defektstrukturen aufgeprägt werden. Die Testschritte werden auf die zweite zu testende Schaltungseinheit (101') angewandt und die Testbedingungen werden derart variiert, dass eine in der zweiten zu testenden Schaltungseinheit (101') durch die aufgeprägten Defektstrukturen (200) hervorgerufene Fehlfunktion detektierbar wird.
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