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发明名称 Helical resonator type plasma processing apparatus
摘要
申请公布号 KR100561848(B1) 申请公布日期 2006.03.16
申请号 KR20030077762 申请日期 2003.11.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/00;H05H1/46;H01J7/24;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/3065;H05H1/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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