Verfahren zur Prüfung der Haftfestigkeit zwischen einer piezokeramischen Schicht und einer Innenelektrode

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Prüfung und Charakterisierung der Haftfestigkeit zwischen einer piezokeramischen Schicht und einer Innenelektrode eines piezokeramischen Vielschichtaktors, der als Schichtstapel mit sich abwechselnden piezokeramischen Schichten und Innenelektroden aufgebaut ist, bei dem der Schichtstapel so belastet wird, dass sich ein Riss ausbreitet, wobei aus mechanischen Parametern während der Belastung des Schichtstapels die für eine Verlängerung des Risses aufzubringende Energie als Maß für die Haftfestigkeit zwischen der piezokeramischen Schicht und der Innenelektrode bestimmt wird.