CO2-Laserbearbeitungskopf mit integrierter Überwachungseinrichtung

摘要

CO¶2¶-Laserbearbeitungskopf mit einer Bearbeitungsoptik, bestehend aus wenigstens einer Linse 1, durch welche eine CO¶2¶-Laserstrahlung 2 auf ein Werkstück 3 gerichtet wird, und einer Überwachungseinrichtung zum Überwachen der Bearbeitungsoptik auf Defekte und Kontamination, umfassend eine Vielzahl von Leuchtdioden 4 und Fotodioden 5, die um die CO¶2¶-Laserstrahlung 2 verteilt auf eine optisch wirksame Oberfläche der Bearbeitungsoptik gerichtet sind, um über die Erfassung von Reflexions- und Streuanteilen der Leuchtdiodenstrahlung auf Defekte und Kontamination der optisch wirksamen Oberflächen der Bearbeitungsoptik schließen zu können.