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Reactor modular acoplable a plasmas de alta frecuencia de libre expansión. Se refiere a un reactor modular de gran versatilidad para acoplar a plasmas de alta frecuencia de libre expansión. Está diseñado para su fácil adaptación en distintas aplicaciones de este tipo de plasmas. El dispositivo consta de dos cámaras (7, 8), la primera (7) que contiene al plasma es una zona activa, mientras que la segunda cámara (8), a menor temperatura, es donde se produce la recombinación de las especies. Ambas zonas (7, 8) se encuentran separadas por una pieza metálica (6) diseñada para aumentar el tiempo de retención de los gases en la zona activa o cámara inferior (7). El sistema de toma de muestras por intermedio de racores (14) y conductos (15) fijados a la tapa superior (9) del reactor, permite analizar los gases en cada una de las zonas (7, 8) independientemente. Una malla metálica (16) exterior y envolvente de las piezas metálicas (1, 6, 9) del reactor está conectada a tierra y mejora la estabilidadproducida en el interior del sistema.
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