Vorrichtung zur Bereitstellung eines reproduzierbaren Targetstromes für die energiestrahlinduzierte Erzeugung kurzwelliger elektromagnetischer Strahlung

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Bereitstellung eines reproduzierbaren Targetstroms für die energiestrahlinduzierte Erzeugung kurzwelliger elektromagnetischer Strahlung. DOLLAR A Die Aufgabe, eine neue Möglichkeit zur Bereitstellung eines reproduzierbar abgegebenen Targetstroms (21) für die Erzeugung eines kurzwellige Strahlung (52) emittierenden Plasmas (5) zu finden, die für beliebige Targetmaterialien unter den jeweiligen Prozessbedingungen eine hohe Richtungsstabilität des Targetstroms (21) über eine große Anzahl von einzelnen Plasmaerzeugungsprozessen gewährleistet, wird erfindungsgemäß gelöst, indem in der Wechselwirkungskammer (1) eine Düsenschutzeinrichtung (4) zwischen der Targetdüse (2) und dem Wechselwirkungsort (23) zur Erzeugung des Plasmas (5) vorhanden ist und die Düsenschutzeinrichtung (4) eine Gasdruckkammer (41) aufweist, wobei die Gasdruckkammer (41) entlang der Targetbahn (22) eine Apertur (42) zum ungehinderten Durchlassen des Targetstroms (21) aufweist und mit einem Puffergas (6) gefüllt ist, das unter einem Druck von einigen 10 mbar gehalten wird.