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Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Vermessen von Oberflächen mittels einer interferometrischen Anordnung, insbesondere Heterodyninterferometer, mit mindestens zwei unterschiedlichen Wellenlängen, bei dem Abstandsdaten aus Interferenzmustern gewonnen werden. Eine zuverlässige Bewertung der Abstandsdaten beispielsweise hinsichtlich einer Gut-Schlecht-Erkennung bzw. Ausreißererkennung wird dadurch erreicht, dass die Zuverlässigkeit der Abstandsdaten durch Bilden mindestens eines Entscheidungskriteriums überprüft wird, das aus Interferenzkontrasten bei mindestens zwei Wellenlängen hergeleitet wird.
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