发明名称 Ferroelectric capacitor and method of manufacturing the same
摘要
申请公布号 KR100561839(B1) 申请公布日期 2006.03.16
申请号 KR20020058765 申请日期 2002.09.27
申请人 发明人
分类号 H01L27/105;H01L21/02;H01L21/70;H01L21/768;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/108 主分类号 H01L27/105
代理机构 代理人
主权项
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