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Ein Sensor enthält einen ersten Chip (300), einen zweiten Chip (200), welcher durch ein Haftteil (400) auf dem ersten Chip (300) angeordnet ist, und einen Stopper (1). Der zweite Chip (200) ist mit dem ersten Chip (300) durch einen Bonddraht (500) verbunden. Der Stopper (1) begrenzt eine Verschiebung des zweiten Chips (200), wenn das Haftteil (400) deformiert ist. Der Stopper (1) ist um den zweiten Chip (200) herum angeordnet. Da die Verschiebung des zweiten Chips (200) beschränkt ist, ist ebenfalls eine Deformierung des Bonddrahts (500) zwischen dem ersten und dem zweiten Chip (200, 300) beschränkt. |
