Mikrovorrichtung mit einer Mikrosystemstruktur und Verfahren zur Herstellung derselben

摘要

Eine Mikrovorrichtung mit einer Mikrosystemstruktur (2) enthält einen Schutzfilm (6), der auf der Mikrosystemstruktur (2) zum Schutz vor einem Teilchen angeordnet ist. Der Schutzfilm (6) enthält einen ersten Schutzfilm (7) mit einer Vickershärte von gleich oder größer als 2500 Hv oder einer Nano-Eindruckhärte von gleich oder größer als 13,64 GPa. Der erste Schutzfilm (7) weist eine Dicke in einem Bereich zwischen 0,1 mum und 30 mum auf. Der Schutzfilm (6) weist eine Gesamtspannung auf, die als ein Produkt aus einer Filmspannung und einer Filmdicke definiert ist, und die Gesamtspannung ist gleich oder kleiner als 700 N/m.