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发明名称
摘要
申请公布号	JP3755838(B2)	申请公布日期	2006.03.15
申请号	JP19960011104	申请日期	1996.01.25
申请人		发明人
分类号	G01J1/02;G01J1/04;G01J1/42;G01J3/02;G01J3/28;H01L31/02	主分类号	G01J1/02
代理机构		代理人
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