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发明名称 EINRICHTUNG ZUR PLASMAAKTIVIERTEN BEDAMPFUNG GROSSER FLÄCHEN
摘要
申请公布号 AT318942(T) 申请公布日期 2006.03.15
申请号 AT20020743190T 申请日期 2002.06.13
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 NEUMANN, MANFRED;STRAACH, STEFFEN;KRUG, MARIO;SCHILLER, NICOLAS
分类号 C23C14/32;C23C14/56;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
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