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发明名称 Method for manufacturing semiconductor memory device
摘要
申请公布号 EP0884777(B1) 申请公布日期 2006.03.15
申请号 EP19980300304 申请日期 1998.01.16
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 PARK, YOUNG-WOO;NOH, JUN-YONG;KOO, BON-YOUNG;KANG, CHANG-JIN;JUNG, CHUL;NAM, SEOK-WOO
分类号 H01L21/768;H01L21/8242;H01L21/28;H01L21/321;H01L27/108 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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