| 发明名称 | 硅片工艺设备用阀门 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种硅片工艺设备用阀门，其特征在于，由本体、压力环、杆体、出入气端组成，本体内设有压力环，杆体设于压力环两侧的，并凸出于本体，杆体内部设有供气体出入且与本体相通的独立气道，在杆体的两外端设有出入气端，本体可在两外端出入气端之间作往复运动。本实用新型的优点是不加长机台长度，工作稳定，组装容易，节约成本。 | ||
| 申请公布号 | CN2764985Y | 申请公布日期 | 2006.03.15 |
| 申请号 | CN200420114792.7 | 申请日期 | 2004.12.27 |
| 申请人 | 日扬电子科技(上海)有限公司 | 发明人 | 吴明田 |
| 分类号 | F15B15/20(2006.01);B24B47/08(2006.01);B23Q5/22(2006.01) | 主分类号 | F15B15/20(2006.01) |
| 代理机构 | 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人 | 翁若莹 |
| 主权项 | 1.一种硅片工艺设备用阀门，其特征在于，由本体(10)、压力环(101)、杆体(102)、出入气端(103)组成，本体(10)内设有压力环(101)，杆体(102)设于压力环(101)两侧的中央，并凸出于本体(10)，杆体(102)内部设有供气体出入且与本体(10)相通的独立气道(1021)，在杆体(102)的两外端设有出入气端(103)。 | ||
| 地址 | 200436上海市宝山城市工业园区柳园路358号四楼 | ||