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发明名称 METHOD FOR MEASURING SPUTTERING AMOUNT
摘要
申请公布号 JPH01306561(A) 申请公布日期 1989.12.11
申请号 JP19880136266 申请日期 1988.06.02
申请人 BROTHER IND LTD 发明人 BESSHO YOSHINORI
分类号 C23C14/54 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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