DEVICE FOR LIQUID PHASE EPITAXY,申请号JP19880134649-传众专利搜索

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发明名称	DEVICE FOR LIQUID PHASE EPITAXY
摘要
申请公布号	JPH01305887(A)	申请公布日期	1989.12.11
申请号	JP19880134649	申请日期	1988.06.01
申请人	SANYO ELECTRIC CO LTD;TOTTORI SANYO ELECTRIC CO LTD	发明人	YABUUCHI TAKATOSHI
分类号	C30B19/06;H01L21/208	主分类号	C30B19/06
代理机构		代理人
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